仕様：
●型番：KF63
●圧力条件：内部／真空、外部／大気圧
●温度条件：20℃（ベーキング時最大250℃）
●材質：ベローズ／ステンレス（SUS316L）、フランジ／ステンレス（SUS316）
●リーク量：1×10^-9Pa·m3/s以下
●繰り返し寿命：1万回
●フランジ形状：ISO KFフランジ
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●サイズ表（単位：mm）
●▼Ｂｉ：76.3
●▼Ｂｏ：92
●▼L：85
●▼Ｄ：87
●▼Ａ：70.2
●▼ｔ：20
●▼L作動範囲：108～142
●バネ定数（N/mm）：7.6
●有効面積（cm2）：55.6